Toepassing van infraroodmicroscoop in micro-apparaten in de elektronica-industrie
1. Toepassingsrichting: de rol van een infraroodmicroscoop bij het testen van de temperatuur van kleine halfgeleiderapparaten
2. Achtergrondinleiding:
Met de ontwikkeling van nanotechnologie wordt de miniaturisatiemethode van bovenaf steeds meer toegepast op het gebied van halfgeleidertechnologie. Vroeger noemden we IC-technologie 'micro-elektronica'-technologie, omdat de grootte van transistors zich op micron (10-6 meter) niveau bevindt. De halfgeleidertechnologie ontwikkelt zich echter razendsnel. Elke twee jaar wordt een generatie verbeterd en wordt de maat teruggebracht tot de helft van de oorspronkelijke maat. Dit is de beroemde wet van Moore. Ongeveer 15 jaar geleden begonnen halfgeleiders het sub-micron-tijdperk binnen te gaan, dat kleiner is dan het micron-tijdperk, en gingen toen dieper het sub-micron-tijdperk in, dat veel kleiner was dan het micron-tijdperk. Tegen 2001 waren transistors nog kleiner dan 0,1 micron of 100 nanometer. Daarom is het het tijdperk van nano-elektronica en zullen de meeste toekomstige IC's van nanotechnologie worden gemaakt.
3. Technische vereisten:
Op dit moment is thermisch falen de belangrijkste storingsmodus van elektronische apparaten. Volgens statistieken wordt 55 procent van de storingen van elektronische apparaten veroorzaakt doordat de temperatuur de gespecificeerde waarde overschrijdt. Naarmate de temperatuur stijgt, neemt het uitvalpercentage van elektronische apparaten exponentieel toe. Over het algemeen is de werkbetrouwbaarheid van elektronische componenten extreem gevoelig voor temperatuur, en de betrouwbaarheid zal met 5 procent afnemen telkens wanneer de temperatuur van het apparaat met 1 graad stijgt op het niveau van 70-80 graden. Daarom is het noodzakelijk om de temperatuur van het apparaat snel en betrouwbaar te detecteren. Naarmate halfgeleiderapparaten steeds kleiner worden, worden er hogere eisen gesteld aan de temperatuurresolutie en ruimtelijke resolutie van detectieapparatuur.
4. Hittekaart voor opnamen op locatie
