Toepassing van infraroodmicroscopen in micro-apparaten in de elektronische industrie
Toepassingsrichting: de functie van een infraroodmicroscoop bij de temperatuurmeting van micro-halfgeleiderapparaten.
Ten tweede de achtergrond:
Met de ontwikkeling van de nanotechnologie wordt de top-down miniaturisering ervan steeds vaker toegepast op het gebied van de halfgeleidertechnologie. Vroeger noemden we IC-technologie 'micro-elektronica'-technologie, omdat de grootte van transistors op micronniveau (10-6 meter) ligt. De halfgeleidertechnologie ontwikkelt zich echter zeer snel en zal elke twee jaar met één generatie vooruitgaan, en de omvang ervan zal worden teruggebracht tot de helft van de oorspronkelijke omvang. Dit is de beroemde wet van Moore. Ongeveer vijftien jaar geleden begonnen halfgeleiders het tijdperk van sub-micron binnen te gaan, dat wil zeggen minder dan micron, en toen was er een tijdperk van diepe sub-micron en veel kleiner dan micron. Tegen 2001 was de grootte van de transistor zelfs minder dan 0,1 micron, dat wil zeggen minder dan 100 nanometer. Daarom is dit het tijdperk van nano-elektronica, en het grootste deel van de toekomstige IC zal gemaakt zijn van nanotechnologie.
Ten derde, de technische vereisten:
Momenteel is thermisch falen de belangrijkste vorm van falen van elektronische apparaten. Volgens statistieken wordt 55 procent van de storingen in elektronische apparaten veroorzaakt doordat de temperatuur de opgegeven waarde overschrijdt. Met de stijging van de temperatuur neemt het uitvalpercentage van elektronische apparaten exponentieel toe. Over het algemeen is de bedrijfsbetrouwbaarheid van elektronische componenten extreem gevoelig voor temperatuur, en de betrouwbaarheid zal met 5 procent afnemen voor elke 1 graad stijging van de apparaattemperatuur op het niveau van 70-80 graden. Daarom is het noodzakelijk om de temperatuur van het apparaat snel en betrouwbaar te detecteren. Naarmate de omvang van halfgeleiderapparaten steeds kleiner wordt, worden er hogere eisen gesteld aan de temperatuurresolutie en ruimtelijke resolutie van detectieapparatuur.
Ten vierde: maak ter plekke een hittekaart (locatie: een bekend wetenschappelijk onderzoeksinstituutmodel: INNOMETE SI330)
