Elektronenmicroscoop heeft verschillende onderdelen
Elektronenmicroscoop bestaat uit drie delen: lenscilinder, vacuümapparaat en voedingskast.
1. De lenscilinder omvat voornamelijk elektronenbronnen, elektronenlenzen, monsterhouders, fluorescerende schermen en detectoren. Deze componenten worden meestal van boven naar beneden in een cilinder gemonteerd.
De elektronenlens wordt gebruikt om elektronen te focusseren en is het belangrijkste onderdeel van de elektronenmicroscoop. Over het algemeen worden magnetische lenzen gebruikt en soms ook elektrostatische lenzen.
2. Het vacuümapparaat wordt gebruikt om de vacuümtoestand in de microscoop te waarborgen, zodat elektronen niet worden geabsorbeerd of afgebogen op hun pad. Het bestaat uit een mechanische vacuümpomp, een diffusiepomp en een vacuümklep en is via een uitlaatpijp verbonden met de lenscilinder.
3. De vermogenskast is samengesteld uit een hoogspanningsgenerator, een excitatiestroomstabilisator en verschillende regeleenheden voor aanpassing.
