Hoeveel nanometer kan een confocale microscoop zien?
Het doel van de materiaalkunde is het bestuderen van de invloed van de oppervlaktestructuur van een materiaal op de oppervlakte-eigenschappen ervan. Daarom is het analyseren van de oppervlaktetopografie met hoge resolutie belangrijk voor het bepalen van parameters die verband houden met oppervlakteruwheid, reflecterende eigenschappen, tribologische eigenschappen en oppervlaktekwaliteit. Confocale technieken zijn in staat materialen met een verscheidenheid aan oppervlaktereflecterende eigenschappen te meten en effectieve meetgegevens te verkrijgen.
De laserconfocale microscoop, gebaseerd op het principe van confocale technologie, is een inspectie-instrument voor metingen op micro- en nanoschaal aan de oppervlakken van verschillende precisie-apparaten en materialen. De hoge meetresolutie bereikt 0.5nm.
Toepassingen
1. MEMS
Dimensionale meting van micron- en submicroncomponenten, observatie van de oppervlaktemorfologie na verschillende processen (ontwikkeling, etsen, metallisatie, CVD, PVD, CMP, enz.), defectanalyse.
2.Precisie mechanische componenten, elektronische apparaten
Dimensionale meting van micron- en submicroncomponenten, observatie van de oppervlaktemorfologie na verschillende oppervlaktebehandelingsprocessen, soldeerprocessen, defectanalyse, deeltjesanalyse.
3. Halfgeleider/LCD
Oppervlaktetopografie-observatie na verschillende processen (ontwikkeling, etsen, metallisatie, CVD, PVD, CMP, enz.), defectanalyse Meting van contactloze lijnbreedtes, stapdieptes, enz.
4. Tribologie, corrosie en andere oppervlaktetechniek
Volumemeting van slijtsporen, ruwheidsmeting, oppervlaktetopografie, corrosie en oppervlaktetopografie na submicron-oppervlaktetechniek.
Technische specificatie
Model: VT6100
Slagbereik: 100*100*100mm
Gezichtsveldbereik: 120×120 μm~1,2×1,2 mm
Herhaalbaarheid hoogtemeting (1σ): 12 nm
Nauwkeurigheid hoogtemeting: ± (0.2+L/100) μm
Resolutie hoogtemeting: 0,5 nm
Herhaalbaarheid van breedtemetingen (1σ): 40 nm
Nauwkeurigheid breedtemeting: ± 2%
Resolutie breedtemeting: 1nm
