Infraroodmicroscopie in de elektronica-industrie bij de toepassing van kleine apparaten
I. Toepassingsrichting: infraroodmicroscopie bij temperatuurtesten van kleine halfgeleiderapparaten
II. Achtergrondintroductie:
Met de ontwikkeling van de nanotechnologie wordt de top-down miniaturisering ervan steeds vaker toegepast op het gebied van de halfgeleidertechnologie. In het verleden noemden we IC-technologie 'micro-elektronica'-technologie, dat komt omdat de grootte van transistors op micronschaal (10-6 meter) ligt. De halfgeleidertechnologie ontwikkelt zich echter zo snel dat deze elke twee jaar een generatie vooruitgaat en krimpt tot de helft van zijn oorspronkelijke omvang, die bekend staat als de wet van Moore. Ongeveer vijftien jaar geleden begonnen halfgeleiders het sub-micron-tijdperk, of minder-dan-micron-tijdperk, binnen te gaan, gevolgd door het diepe sub-micron-tijdperk, of veel kleiner dan micron-tijdperk. In 2001 waren transistors zelfs kleiner dan 0,1 micron, oftewel minder dan 100 nanometer. Daarom is dit het tijdperk van de nano-elektronica en zullen de meeste toekomstige IC's door middel van nanotechnologie worden gemaakt.
Ten derde, de technische vereisten:
Momenteel is thermisch falen de belangrijkste vorm van falen van elektronische apparaten. Volgens statistieken wordt 55% van de uitval van elektronische apparaten veroorzaakt doordat de temperatuur de opgegeven waarde overschrijdt, en met de stijging van de temperatuur neemt het uitvalpercentage van elektronische apparaten exponentieel toe. Over het algemeen is de bedrijfsbetrouwbaarheid van elektronische componenten extreem temperatuurgevoelig. De apparaattemperatuur ligt op het niveau van 70-80 graden. Bij elke stijging van 1 graad zal de betrouwbaarheid met 5% dalen. Daarom is er behoefte aan snelle en betrouwbare temperatuurdetectie van apparaten. Naarmate de omvang van halfgeleiderapparaten steeds kleiner wordt, stellen de temperatuurresolutie en ruimtelijke resolutie van de detectieapparatuur hogere eisen.
Ten vierde, de locatie waar de thermische kaart wordt opgenomen (locatie: een bekend onderzoeksinstituut Model: INNOMETE SI330)
