Inleiding tot de structuur van de elektronenmicroscoop
Elektronenmicroscoop bestaat uit drie delen: lenscilinder, vacuümsysteem en voedingskast. De lenscilinder omvat voornamelijk elektronenkanonnen, elektronenlenzen, monsterhouders, fluorescerende schermen en cameramechanismen. Deze componenten worden meestal van boven naar beneden in een kolom gemonteerd; het vacuümsysteem bestaat uit mechanische vacuümpompen, diffusiepompen en vacuümkleppen. De gasleiding is verbonden met de lenscilinder en de vermogenskast bestaat uit een hoogspanningsgenerator, een excitatiestroomstabilisator en verschillende regeleenheden voor aanpassing.
◆Elektronische lens
De elektronenlens is het belangrijkste onderdeel van de lenscilinder van de elektronenmicroscoop. Het gebruikt een elektrisch ruimteveld of magnetisch veld dat symmetrisch is ten opzichte van de as van de lenscilinder om het elektronenspoor naar de as te buigen om een focus te vormen. Zijn functie is vergelijkbaar met die van een glazen bolle lens om de bundel te focusseren, daarom wordt het een elektron genoemd. lens. De meeste moderne elektronenmicroscopen maken gebruik van elektromagnetische lenzen, die elektronen focusseren door middel van een sterk magnetisch veld dat wordt gegenereerd door een zeer stabiele DC-bekrachtigingsstroom die door een spoel met poolschoenen gaat.
◆ Elektronenkanon
Het elektronenkanon is een component die bestaat uit een wolfraamgloeidraad hete kathode, een rooster en een kathode. Het kan een elektronenstraal uitzenden en vormen met een uniforme snelheid, dus de stabiliteit van de versnellingsspanning moet niet minder zijn dan een tienduizendste.
