Methode voor laagdiktemeter Temperatuurcompensatiemeting
De temperatuurcompensatiemeetmethode van de laagdiktemeter omvat de kalibratiestap van de temperatuurcoëfficiënt, de startnulkalibratiestap en de werkstap voor de diktemeting, en berekent uiteindelijk de waarde van de werkelijke laagdikte dx; gebruikmakend van de correlatie tussen de elektromagnetische veldverandering van de inductorspoel en de temperatuur, dat wil zeggen in De waarde aan het oneindige uiteinde wordt eenmaal gemeten tijdens het meetproces, en de temperatuurveranderingscoëfficiënt aan het oneindige uiteinde is evenredig met de temperatuurveranderingscoëfficiënt wanneer de meetsonde zich dicht bij het te meten objectsubstraat bevindt. Door deze functie te gebruiken om temperatuurcompensatie te realiseren, kan de temperatuurmeetfout zoveel mogelijk worden verminderd. De meetfout van deze methode kan in principe worden gecontroleerd binnen 1 procent, terwijl onze huidige nationale norm binnen 3 procent vereist. Ter vergelijking: de meetfout van deze methode kan binnen 1 procent worden gecontroleerd. De meetnauwkeurigheid heeft de meetnauwkeurigheid van internationale merkmachines bereikt en is nog steeds op een zeer hoog niveau in China.
