Rasterelektronenmicroscopie en metallografische microscopie "gaan samen, maar op verschillende manieren"
Rasterelektronenmicroscopen en metallografische microscopen zijn beide optische instrumenten. Veel mensen gebruiken graag een metallografische microscoop als scanning-elektronenmicroscoop, maar er zijn grote verschillen tussen beide. Verkeerd gebruik zal de apparatuur alleen maar zwaarder belasten en het verbruik van de metallografische microscoop versnellen.
1. Allereerst zijn de principes verschillend: de metallografische microscoop gebruikt het principe van geometrische optische beeldvorming om beeldvorming uit te voeren, terwijl de scannende elektronenmicroscoop verschillende fysieke signalen gebruikt die worden opgewekt door fijn gefocusseerde elektronenbundels bij het scannen van het monsteroppervlak om de beeldvorming te moduleren. Het oppervlak van het monster wordt gebombardeerd met elektronenbundels met hoge energie, en verschillende fysieke signalen worden op het oppervlak van het monster geëxciteerd. Er worden verschillende signaaldetectoren gebruikt om de fysieke signalen te ontvangen en deze vervolgens om te zetten in beeldinformatie.
2. Ten tweede zijn de lichtbronnen verschillend: de metallografische microscoop gebruikt zichtbaar licht als lichtbron voor beeldvorming, terwijl de scanning-elektronenmicroscoop elektronenstralen als lichtbron voor beeldvorming gebruikt.
3. Verschillende resoluties: Metallurgische microscopen zijn onderhevig aan interferentie en diffractie van zichtbaar licht, en de resolutie kan slechts worden beperkt tot 0.2-0.5um. Omdat de scanning-elektronenmicroscoop elektronenbundels als lichtbron gebruikt, kan de resolutie tussen 1-3nm liggen. Daarom is de weefselobservatie onder de metallografische microscoop een analyse op micronniveau, terwijl de weefselobservatie onder de scanning-elektronenmicroscoop een analyse op nanoniveau is. De monsterinformatie verkregen door de scanning-elektronenmicroscoop is rijker. .
4. Verschillende scherptediepten: Over het algemeen ligt de scherptediepte van een metallografische microscoop tussen 2-3um, dus er worden extreem hoge eisen gesteld aan de gladheid van het oppervlak van het monster, dus het monstervoorbereidingsproces is relatief ingewikkeld. De scherptediepte van een scanning-elektronenmicroscoop is honderden malen groter dan die van een metallografische microscoop. Vanwege de beperkingen van het beeldvormingsprincipe moet het monsteroppervlak echter geleidend zijn, en dus moet het monsteroppervlak geleidend zijn.
Vergeleken met metallografische microscopen hebben scanning-elektronenmicroscopen een breed instelbaar vergrotingsbereik, een hoge beeldresolutie, een grote scherptediepte, rijke driedimensionale beelden en kunnen ze rijkere monsterinformatie verkrijgen. Hun toepassingen zijn dieper en uitgebreider dan metallografische microscopen.
