Diktemeetmethode van ultrasone scanmicroscoop
Hoe ultrasone scanningmicroscopen werken
Het blokschema van het ultrasone scanningmicroscoopsysteem wordt getoond. De ultrasone zender-ontvanger genereert ultrasone pulsen met een specifieke frequentie (5 MHz tot 2 GHz) en bereikt het monster via het koppelingsmedium (zoals gedeïoniseerd water, alcohol, enz.). Aangezien de transmissie van ultrasone energie vereist dat het medium continu is, zullen discontinue interfaces zoals poriën, onzuiverheden, delaminaties, scheuren, enz. de voortplanting van ultrasone signalen verstoren of reflecties van ultrasone signalen veroorzaken. Wanneer het ultrasone signaal door het monster gaat, zullen er vanwege het verschil in akoestische impedantie van verschillende materialen gereflecteerde golven verschijnen op het grensvlak met defecten of slechte hechting. Het gereflecteerde echosignaal dat door de ultrasone transducer wordt ontvangen, wordt via de ultrasone zenderontvanger naar de A/D-gegevensverzamelingskaart verzonden en het echosignaal wordt verwerkt en weergegeven op het scherm in de vorm van een golfvorm. Het interne beeld van het apparaat dat overeenkomt met de golfvorm kan ook worden weergegeven op de bedieningsinterface. Het bewegingssysteem met drie assen draagt de ultrasone transducer om het te testen apparaat met hoge snelheid te scannen en verkrijgt uiteindelijk een ultrasoon beeld met hoge resolutie van de overeenkomstige interface.
Principe van ultrasone diktemeting
De frequentie van ultrasone golven is hoog, de directiviteit is goed en de geluidssnelheid in een homogeen medium is hetzelfde. Wanneer de ultrasone puls die door de ultrasone transducer wordt gegenereerd het gemeten object bereikt via het koppelingsmiddel, dringt een deel van het ultrasone signaal door het gemeten object en wordt het andere deel van het ultrasone signaal gereflecteerd door het bodemoppervlak van het object. De ultrasone transducer ontvangt de echo die wordt gereflecteerd door het bodemoppervlak van de gemeten laag, berekent nauwkeurig de retourtijd van de ultrasone golf en berekent de diktewaarde volgens formule 1. Uit de ultrasone transmissiesnelheid van conventionele materialen in tabel 1, enkele veelgebruikte snelheidsgegevens kunnen worden gevonden.
Methode voor ultrasone diktemeting
Het schematische diagram van de ultrasone golfvorm toont de corresponderende relatie tussen de ultrasone golf en zijn passage door het apparaat. Hieruit is de sleutel tot de diktemeetmethode het vinden van de golfvorm van de betreffende diktelaag, het instellen van de poort aan de voorkant van het apparaat en het instellen van de datapoort in de betreffende diktelaag. In de Ultrasonic Scanning Microscope Smartscan-software is de sleutel hoe de dikte van het apparaat en de betreffende laag te bepalen.
