Welke factoren beperken het oplossend vermogen van atoomkrachtmicroscopen in vergelijking met traditionele optische microscopen en elektronenmicroscopen?
Het oplossend vermogen van traditionele optische microscopen wordt beperkt door de diffractielimiet van licht en de minimale oplossende afstand is de helft van de lichtgolflengte. Het oplossend vermogen van de elektronenmicroscoop wordt ook beperkt door de diffractielimiet en het minimale oplossend vermogen is de helft van de elektronenmicroscoopgolflengte, zodat de elektronenmicroscoop een hoger oplossend vermogen kan bereiken dan de traditionele optische microscoop.
Het oplossend vermogen van de atoomkrachtmicroscoop hangt voornamelijk af van: de grootte van de sondetip; de elastische coëfficiënt van de micro-cantilever, hoe lager de elastische coëfficiënt, hoe gevoeliger de atoomkrachtmicroscoop; de verhouding van de lengte van de cantilever tot de lengte van het laserlicht; de gevoeligheid van de detector PSD voor de spotpositie. Voor een afbeelding met een bepaalde resolutie geldt: hoe kleiner het scanbereik, hoe fijner de verkregen oppervlaktetopografie.
